ARC (Anti - Reflective Coating)
난반사 감소 코팅
후에 에칭으로 ARC 없앰
TARC, BARC가 있음 (top, bottom)
dose가 모자르면 아래 무기물이 남게 될 것이고
dose량 높으면 난반사되어 옆면을 많이 파고들 것이다.
https://youtu.be/IjsK8ItrffA?t=175
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