반도체 공정/기타 3

반도체 웨이퍼

반도체는 웨이퍼에서 공정이 이루어집니다. 웨이퍼는 실리콘을 정제하여 잉곳(순수한 실리콘 덩어리)을 만든 뒤 slicing하여 만듭니다. 1. 크리스탈 단결정을 넣어 110이냐 111이냐 결정 구조를 정합니다. (결정구조 포스팅 예정) 2. 잉곳을 성장시킵니다. 3. 끝에 자르고 4. 방향성을 위해 한쪽을 잘라줍니다. 위 그림 처럼 자르기도 하고(6인치 이하) 노치를 만들기도(8인치 이상) 합니다. 5. 웨이퍼를 자릅니다. 실제 두께보다 두껍게 자릅니다. 6. 갈아내어 두께 맞춥니다. 7. 평평하게 맞춥니다. 8. 용액으로 더 정교하게 맞춥니다. 9. 갈아내서 더 평평하게 합니다. 옆에도 갈아줍니다. 10. 검사합니다. 직경이 증가할 수록 한번에 만들 수 있는 반도체 칩이 증가합니다. 따라서 같은 공정 스..

반도체 Clean Room (클린룸)

반도체는 클린룸에서 제조됩니다. 반도체는 단순 뚝딱뚝딱 만들어지는 것이 아니라 굉장이 까다로운 환경에서 만들어줍니다. 챔버 안의 조건도 까다로워야 하지만 그 전에 기본적으로 방, 공장. 즉, FAB(Semiconductor Fabrication)도 까다로워야겠습니다. 이런 공장의 입자, 온도, 습도, 공기압을 제어하는 공간이 클린룸입니다. 2층에서 실제 제조가 일어나고 3층 2층 1층으로 공기가 흐르며 위 조건을 제어합니다. Photolithography 공정의 경우 감광제가 변하지 않도록 장파장의 룸 환경을 조성합니다. 반도체 제조 시 입는 옷을 SMOCK이라고 하고 바닥은 Grating floor라고 합니다. 구멍이 송송 나있어 먼지와 함께 흡기됩니다. 빨간색과 노란색 중에서 사람 눈에 조금 더 편한..