반도체 Clean Room (클린룸)

반도체는 클린룸에서 제조됩니다.

반도체는 단순 뚝딱뚝딱 만들어지는 것이 아니라 굉장이 까다로운 환경에서 만들어줍니다.

챔버 안의 조건도 까다로워야 하지만

그 전에 기본적으로 방, 공장. 즉, FAB(Semiconductor Fabrication)도 까다로워야겠습니다.

 

이런 공장의 입자, 온도, 습도, 공기압을 제어하는 공간이 클린룸입니다.

2층에서 실제 제조가 일어나고

3층 2층 1층으로 공기가 흐르며 위 조건을 제어합니다.

 

 

 

Photolithography 공정의 경우 감광제가 변하지 않도록 장파장의 룸 환경을 조성합니다.

반도체 제조 시 입는 옷을 SMOCK이라고 하고

바닥은 Grating floor라고 합니다. 구멍이 송송 나있어 먼지와 함께 흡기됩니다.

 

빨간색과 노란색 중에서 사람 눈에 조금 더 편한 노란색을 사용합니다.

 

 

 

 

Clean Room Class

클린룸이 얼마나 깨끗한지 나타내주는 지표가 Class입니다.

1 입방피트 당 0.5um 입자의 개수입니다.

즉 클래스가 낮을 수록 입자의 개수가 적고 더 깨끗한 것입니다.

 

무균 수술실이 Class100입니다.

반도체 제조공정은 Class1, Class10, Class100에서 제조됩니다.

조립과 검사는 1,000~100,000에서 조립됩니다.

Dicing 공정은 웨이퍼를 갈아내어 먼지가 대량으로 발생하여 Class가 상관 없습니다.

 

 

 

Production bay는 공정 엔지니어가 근무하게 되고 모니터가 보이는 부분입니다.

Service chase는 설비 엔지니어가 근무하게 되고 설비가 있는 부분입니다.