Etch stop

Etch stop : Eching을 멈추는 기술

 

 

 

 

1. Self-limiting etch

저절로 에칭이 멈춰지는 경우로서 아주 특이한 경우입니다.

wet etch 중에서도 Si + 염기인 조합에서 발생합니다.

격자구조에 따라 발생합니다.

 

 

 

2. Timed etch

시간을 재서 멈추는 것인데 매우 부정확합니다.

연구실 수준에서 하는 방법입니다.

 

 

 

 

3. Insulator etch stop

etch stopper를 깔고 살짝 over etching을 해줍니다.

일반적인 공정 방식입니다.

이는 웨이퍼 중앙과 가장자리 uniformity를 위해서 해줍니다.

 

 

 

 

4. Etch stop via doping

산화/환원의 차이에 의한 etch stop 방법입니다.

 

 

 

 

 

5. End point detiection (EPD)

식각 언제 끝낼 지 직접 확인하는 방법입니다.

식각 후 나오는 물질의 변화를 보고 알아차리는 것인데,

그렇다는 것은 디텍팅 되는 순간 이미 Overetch되었다는 뜻이 됩니다.