DNI & Oxidation 개요

Diffusion (확산)

농도 차이에 의해 원자가 이동하는 현상

확산 방정식에 따라 미분방정식의 해를 풀 수 있음

(추후 유도 작성)

 

 

 

 

확산계수 D

단위 면적당 확산 속도

변수 : 확산 mechanism, 온도, 물질, sub 물질

물질에 따라 천차만별이다.

 

D0 : 외삽법으로 얻은 상수, EA : 활성화 에너지

온도가 올라갈수록 확산 계수가 커진다.

 

EA (Activation energy)

 

 

 

 

 

 

확산 모델

Vacancy Mechanism (공공 매커니즘)

Si에서 3~5eV

느린확산

B, P, As

 

 

Interstitial Mechanism (침입 매커니즘)

Si에서 0.5~2eV

느린 확산

Au, Cu (실리콘은 구리 냄새만 맡아도 다 망가진다는 말이 있다.)

(아무래도 적은 활성화 에너지로 잘 침입하게 되며 침입 후 격자구조를 무너뜨리기 때문이지 않을까)

 

 

이 외에 Interstitialcy, Crowdian mechanism이 있다.