확산과 확산 공정의 차이
확산과 확산 공정은 다릅니다.
확산은 현상인 것이고 이를 이용한 공정은
DNI와 Oxidation 공정이 있습니다.
DNI (diffusion & Ion implantation)
DNI 공정은 도핑을 해주는 공정입니다.
확산 공정과 이온주입공정을 합쳐서 DNI 공정이라고 말합니다.
두 공정 모두 확산을 통해 도핑을 해줍니다.
도핑을 해주는 방법으로 플라즈마 도핑도 있습니다.
Oxidation 공정 (산화 공정)
SiO2를 성장하여 절연막을 형성하는 공정입니다.
산화 공정도 확산을 이용한 공정입니다.
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