반도체 공정/DNI & Oxidation

도핑농도 명명법 (Nomenclature)

yoong semi 2023. 2. 14. 12:14

도핑이 많이 되었는지 적게 되었는지 구분하는 명명법이 있습니다.

정하기 나름이고 시대에 따라 다르지만 일반적인 명명법을 알아보겠습니다.

또한, 이는 실리콘에서의 명명법입니다.

 

1014 1014~1016 1016~1019 1019
n-- n- n n+

Si의 ni = 1010/cm3입니다.

np = ni2 이기 때문에

n은 1020/cm3 까지 들어가게됩니다.

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