PVD는 물리적인 에너지를 인가하며 증착하는 방법입니다.
어디에 인가를 하느냐?
내가 증착하고자 하는 물질에 인가를 합니다.
이 가해진 에너지는 운동에너지로 변하여 물질이 증기가 되어 웨이퍼에 달라붙습니다.
그럼 어떤 에너지를 인가하느냐?
열을 인가하거나 이온빔을 인가합니다.
열을 가해주게 되면 Evaporation이 되는 것이고
이온빔을 가해주면 Sputtering이 되는 것입니다.
Evaporation
열을 인가해 증착시키는 방법이며
Sputtering에 비해 불순물 농도가 낮습니다.
고진공, 고온 공정입니다.
Sputtering
Ion Beam을 조사합니다.(Ion, 중성입자들을 조사합니다.)
plasma를 형성해야하며 고전압이 필요합니다.
대신 저온 공정입니다.
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